VAT是全球領(lǐng)先的關(guān)鍵任務(wù)高真空解決方案開(kāi)發(fā)商、制造商和供應(yīng)商，這些解決方案是日常生活中使用的創(chuàng)新產(chǎn)品（例如便攜式設(shè)備、顯示器和其他實(shí)現(xiàn)新數(shù)字時(shí)代的設(shè)備）制造工藝所需的解決方案。VAT及其子公司在瑞士、美國(guó)等地區(qū)開(kāi)發(fā)、制造和供應(yīng)真空閥、多閥裝置、真空模塊和邊緣焊接金屬波紋管。以下是科電遠(yuǎn)揚(yáng)小編對(duì)科電遠(yuǎn)揚(yáng)優(yōu)勢(shì)供應(yīng)瑞士VAT閥門(mén)（瑞士VAT閥門(mén)介紹）的產(chǎn)品信息描述，深圳市科電遠(yuǎn)揚(yáng)科技有限公司優(yōu)勢(shì)代理瑞士VAT產(chǎn)品，原裝正品，價(jià)格優(yōu)惠，歡迎廣大客戶(hù)采購(gòu)！
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一、科電遠(yuǎn)揚(yáng)優(yōu)勢(shì)供應(yīng)瑞士VAT閥門(mén)（瑞士VAT閥門(mén)介紹）
1、瑞士VAT 61.3蝶形控制閥
瑞士VAT閥門(mén)61.3控制蝶閥提供出色的壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工藝中精細(xì)控制的完美解決方案。該板充當(dāng)節(jié)流元件并改變閥門(mén)開(kāi)口的傳導(dǎo)性。61.3的集成壓力控制器計(jì)算所需的板置，以盡快達(dá)到設(shè)定壓力。瑞士VAT閥門(mén)它專(zhuān)為氣流中含有顆粒的嚴(yán)苛下游工藝而設(shè)計(jì)。盡管設(shè)計(jì)上存在高顆粒負(fù)載和碎片堆積，61.3仍能保持全面運(yùn)行。

VAT61.3蝶形控制閥已在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個(gè)要求嚴(yán)格的應(yīng)用中，證明了其卓越的可靠性。61.3系列憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)，以及減少且易于維護(hù)的特點(diǎn)，在各個(gè)方面都令人信服。主體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定PI下游/軟泵）的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)簡(jiǎn)化了與各種真空應(yīng)用的集成。

2、瑞士VAT 21.1氣體計(jì)量閥
VAT閥門(mén)氣體計(jì)量閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是其可控性以及可靠且精確地再現(xiàn)流量設(shè)置的能力。瑞士VAT閥門(mén)21.1氣體計(jì)量閥系列同時(shí)提供這兩種功能。瑞士VAT有兩種版本-一種用于粗略氣體計(jì)量（DN 10 mm，½"），一種用于精細(xì)氣體計(jì)量（DN 16 mm,5/8"）-21.1系列由于其獨(dú)立的設(shè)計(jì)，允許在關(guān)閉時(shí)不會(huì)丟失定義的流量設(shè)置關(guān)閉和計(jì)量針校準(zhǔn)功能。通過(guò)針校準(zhǔn)手輪，針位置和流量設(shè)置可以在非常精細(xì)的范圍內(nèi)調(diào)整到所需的設(shè)置。

由于打開(kāi)/關(guān)閉機(jī)構(gòu)獨(dú)立于計(jì)量機(jī)構(gòu)運(yùn)行，因此在閥門(mén)打開(kāi)和關(guān)閉期間保持該設(shè)置。21.1系列在各種工藝條件下進(jìn)行了數(shù)千種要求嚴(yán)格的應(yīng)用測(cè)試，證明了其卓越的可靠性。21.1氣體計(jì)量閥提供粗略氣體計(jì)量（DN 10 mm，½"）和精細(xì)氣體計(jì)量（DN 16 mm，5/8"）以及手動(dòng)手輪驅(qū)動(dòng)的版本。粗氣體計(jì)量閥體由鋁制成，精氣體計(jì)量閥體由不銹鋼制成。兩者均具有ISO-KF法蘭。精細(xì)氣體計(jì)量閥可使用額外的過(guò)濾器真空側(cè)。

3、瑞士VAT 67.0對(duì)稱(chēng)控制閥
67.0系列專(zhuān)為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì)，用作下游控制和隔離閥。一般來(lái)說(shuō)，晶片周?chē)臍饬髟骄鶆颍系臍怏w反應(yīng)就越均勻和同步。這不僅在氣體引入階段如此，而且在氣體從腔室排出時(shí)也是如此。瑞士VAT閥門(mén)出口位置設(shè)計(jì)或閥門(mén)操作期間的流路變化會(huì)產(chǎn)生不對(duì)稱(chēng)的氣體分布，從而阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時(shí)間和不平衡的對(duì)流流動(dòng)的形式對(duì)晶圓造成負(fù)面影響。兩者還會(huì)導(dǎo)致更高的工藝氣體消耗和更長(zhǎng)的工藝時(shí)間。

瑞士VAT對(duì)稱(chēng)控制閥流量?jī)?yōu)化的設(shè)計(jì)還允許以新的方式設(shè)計(jì)處理室。通過(guò)其特殊的打開(kāi)和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，氣流在整個(gè)打開(kāi)和關(guān)閉循環(huán)中是對(duì)稱(chēng)的，從而實(shí)現(xiàn)前所未有的流量和壓力控制。“軟觸感”隔離功能進(jìn)一步增強(qiáng)了這一點(diǎn)。瑞士VAT閥門(mén)67.0的走勢(shì)非常溫和，避免了任何收盤(pán)震蕩。這消除了粒子激活。瑞士VAT67.0的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是其占地面積有限。與其他解決方案相比，它需要更少的安裝空間。結(jié)合流量?jī)?yōu)化的噴頭和腔室設(shè)計(jì)，67.0實(shí)現(xiàn)了前所未有的過(guò)程控制新水平。它為提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短周期時(shí)間以及提高生產(chǎn)率打開(kāi)了大門(mén)。

4、瑞士VAT 25.7高壓快速切斷閥
瑞士VAT 現(xiàn)代截止閥的主要要求是在任何回流事件時(shí)都能可靠且快速地緊急隔離。25.7旨在提供靈敏、高速的隔離功能，可靠地防止回流到工藝室或管道系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)。瑞士VAT25.7 HV快速截止閥采用流量控制。沒(méi)有任何子系統(tǒng)（傳感器和執(zhí)行器）的直接操作設(shè)計(jì)提供了高速隔離，復(fù)雜性低，故障風(fēng)險(xiǎn)低。從最初的回流脈沖到完全隔離，25.7的時(shí)間不到10毫秒，在同類(lèi)產(chǎn)品中處于領(lǐng)先地位。作為一種安全解決方案，

VAT 截止閥理想情況下不應(yīng)給系統(tǒng)添加電導(dǎo)屏障。25.7的特殊流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì)在這方面樹(shù)立了標(biāo)準(zhǔn)，在高電導(dǎo)和快速隔離之間實(shí)現(xiàn)了完美平衡。當(dāng)用于氣流中含有副產(chǎn)品的工藝（例如前線(xiàn)應(yīng)用）時(shí)，快速截止閥上任何污染物的積累都會(huì)降低電導(dǎo)率，并可能對(duì)其隔離能力產(chǎn)生負(fù)面影響。這一與工藝相關(guān)的挑戰(zhàn)可以通過(guò)特殊的表面涂層來(lái)解決，該涂層可以顯著減少大多數(shù)副產(chǎn)品的積累。瑞士VAT閥門(mén)還提供額外的加熱選項(xiàng)，以避免過(guò)程氣體在閥門(mén)表面冷凝。

二、瑞士VAT閥門(mén)部分型號(hào)分享
①瑞士VAT08.1 FV插入式閘閥
②瑞士VAT47.2 XHV RF全金屬閘閥
③瑞士VAT57.0 XHV全金屬角閥
④瑞士VAT54.1 UHV/XHV全金屬角閥

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