VAT是全球領先的關鍵任務高真空解決方案開發(fā)商、制造商和供應商，這些解決方案是日常生活中使用的創(chuàng)新產(chǎn)品（例如便攜式設備、顯示器和其他實現(xiàn)新數(shù)字時代的設備）制造工藝所需的解決方案。VAT及其子公司在瑞士、美國等地區(qū)開發(fā)、制造和供應真空閥、多閥裝置、真空模塊和邊緣焊接金屬波紋管。以下是科電遠揚小編對科電遠揚優(yōu)勢供應瑞士VAT閥門（瑞士VAT閥門介紹）的產(chǎn)品信息描述，深圳市科電遠揚科技有限公司優(yōu)勢代理瑞士VAT產(chǎn)品，原裝正品，價格優(yōu)惠，歡迎廣大客戶采購！
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一、科電遠揚優(yōu)勢供應瑞士VAT閥門（瑞士VAT閥門介紹）
1、瑞士VAT 61.3蝶形控制閥
瑞士VAT閥門61.3控制蝶閥提供出色的壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工藝中精細控制的完美解決方案。該板充當節(jié)流元件并改變閥門開口的傳導性。61.3的集成壓力控制器計算所需的板置，以盡快達到設定壓力。瑞士VAT閥門它專為氣流中含有顆粒的嚴苛下游工藝而設計。盡管設計上存在高顆粒負載和碎片堆積，61.3仍能保持全面運行。

VAT61.3蝶形控制閥已在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個要求嚴格的應用中，證明了其卓越的可靠性。61.3系列憑借堅固的設計和直接安裝選項，以及減少且易于維護的特點，在各個方面都令人信服。主體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定PI下游/軟泵）的各種設計選項簡化了與各種真空應用的集成。

2、瑞士VAT 21.1氣體計量閥
VAT閥門氣體計量閥的關鍵性能指標是其可控性以及可靠且精確地再現(xiàn)流量設置的能力。瑞士VAT閥門21.1氣體計量閥系列同時提供這兩種功能。瑞士VAT有兩種版本-一種用于粗略氣體計量（DN 10 mm，½"），一種用于精細氣體計量（DN 16 mm,5/8"）-21.1系列由于其獨立的設計，允許在關閉時不會丟失定義的流量設置關閉和計量針校準功能。通過針校準手輪，針位置和流量設置可以在非常精細的范圍內(nèi)調(diào)整到所需的設置。

由于打開/關閉機構獨立于計量機構運行，因此在閥門打開和關閉期間保持該設置。21.1系列在各種工藝條件下進行了數(shù)千種要求嚴格的應用測試，證明了其卓越的可靠性。21.1氣體計量閥提供粗略氣體計量（DN 10 mm，½"）和精細氣體計量（DN 16 mm，5/8"）以及手動手輪驅(qū)動的版本。粗氣體計量閥體由鋁制成，精氣體計量閥體由不銹鋼制成。兩者均具有ISO-KF法蘭。精細氣體計量閥可使用額外的過濾器真空側(cè)。

3、瑞士VAT 67.0對稱控制閥
67.0系列專為半導體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設計，用作下游控制和隔離閥。一般來說，晶片周圍的氣流越均勻，晶片上的氣體反應就越均勻和同步。這不僅在氣體引入階段如此，而且在氣體從腔室排出時也是如此。瑞士VAT閥門出口位置設計或閥門操作期間的流路變化會產(chǎn)生不對稱的氣體分布，從而阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時間和不平衡的對流流動的形式對晶圓造成負面影響。兩者還會導致更高的工藝氣體消耗和更長的工藝時間。

瑞士VAT對稱控制閥流量優(yōu)化的設計還允許以新的方式設計處理室。通過其特殊的打開和關閉機構，氣流在整個打開和關閉循環(huán)中是對稱的，從而實現(xiàn)前所未有的流量和壓力控制。“軟觸感”隔離功能進一步增強了這一點。瑞士VAT閥門67.0的走勢非常溫和，避免了任何收盤震蕩。這消除了粒子激活。瑞士VAT67.0的另一個優(yōu)點是其占地面積有限。與其他解決方案相比，它需要更少的安裝空間。結(jié)合流量優(yōu)化的噴頭和腔室設計，67.0實現(xiàn)了前所未有的過程控制新水平。它為提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短周期時間以及提高生產(chǎn)率打開了大門。

4、瑞士VAT 25.7高壓快速切斷閥
瑞士VAT 現(xiàn)代截止閥的主要要求是在任何回流事件時都能可靠且快速地緊急隔離。25.7旨在提供靈敏、高速的隔離功能，可靠地防止回流到工藝室或管道系統(tǒng)的風險。瑞士VAT25.7 HV快速截止閥采用流量控制。沒有任何子系統(tǒng)（傳感器和執(zhí)行器）的直接操作設計提供了高速隔離，復雜性低，故障風險低。從最初的回流脈沖到完全隔離，25.7的時間不到10毫秒，在同類產(chǎn)品中處于領先地位。作為一種安全解決方案，

VAT 截止閥理想情況下不應給系統(tǒng)添加電導屏障。25.7的特殊流量優(yōu)化設計在這方面樹立了標準，在高電導和快速隔離之間實現(xiàn)了完美平衡。當用于氣流中含有副產(chǎn)品的工藝（例如前線應用）時，快速截止閥上任何污染物的積累都會降低電導率，并可能對其隔離能力產(chǎn)生負面影響。這一與工藝相關的挑戰(zhàn)可以通過特殊的表面涂層來解決，該涂層可以顯著減少大多數(shù)副產(chǎn)品的積累。瑞士VAT閥門還提供額外的加熱選項，以避免過程氣體在閥門表面冷凝。

二、瑞士VAT閥門部分型號分享
①瑞士VAT08.1 FV插入式閘閥
②瑞士VAT47.2 XHV RF全金屬閘閥
③瑞士VAT57.0 XHV全金屬角閥
④瑞士VAT54.1 UHV/XHV全金屬角閥

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